半導体ウエハ搬送は、半導体のシリコンウエハを搬送するアプリケーションです。通常はお客さまが製作する半導体製造装置の中に組み込まれて使用されます。シリコンウエハは壊れやすく半導体製造装置内での搬送は高速で行われますので、高速で振動の少ない動作が要求されます。これに加え、高速で搬送しても持っているシリコンウエハを飛ばしてしまわないよう、またシリコンウエハそのものを持つことで汚さないよう、ハンドにも工夫を凝らしています。
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半導体ウエハ、ガラス基板搬送用クリーンロボット
(株)安川電機
半導体の”これから”にフィットするウエハ搬送ロボット
速く、そしてダメージレスあるべき姿を具現化した
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