半導体ウエハ、ガラス基板搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズSEMISTAR-GEKKOVD31HDA

SEMISTARシリーズSEMISTAR-GEKKOVD31HDA

(株)安川電機

速く、そしてダメージレス
あるべき姿を具現化した
ウエハ搬送用クリーンロボット

使用用途
搬送

製品説明

真空DDモータとスチールベルトの採用により、低コンタミかつ高速ウエハ搬送を実現