半導体ウエハ、ガラス基板搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD95D

SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD95D

(株)安川電機

速く、そしてダメージレス
あるべき姿を具現化した
ウエハ搬送用クリーンロボット

使用用途
搬送

製品説明

最大で第4世代(730×920mm級)のガラス基板に対応
アーム部にリンク機構を採用することにより高剛性を実現
真空内ベルト駆動を採用していないため低放出ガス性能を実現
アーム内に基板有無センサ用配線を内蔵可能