半導体ウエハ、ガラス基板搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズSEMISTAR-MU124D

SEMISTARシリーズSEMISTAR-MU124D

(株)安川電機

速く、そしてダメージレス
あるべき姿を具現化した
ウエハ搬送用クリーンロボット

使用用途
搬送

製品説明

従来機種の搬送能力を踏襲した、新型ロボットコントローラSR200対応モデル
バッテリーレス絶対値エンコーダを搭載