2023年12月13日(水)～12月15日(金)まで、東京ビッグサイトにて開催される半導体産業における製造技術、装置、材料などが結集するエレクトロニクス製造サプライチェーンの国際展示会「SEMICON Japan 2023」に出展いたします。
主催者サイトにて事前の来場登録を受付中です。
皆さまのご来場を心よりお待ちしております。
安川電機ブース(東4ホール4634)では、半導体製造の新たなニーズや生産性向上に貢献するトータルソリューションを、実演を交えてご紹介いたします。
特に、成膜やエッチングといった半導体製造の前工程に向けては、最新のウエハ搬送用クリーンロボットSEMISTAR-GEKKOによる低振動搬送や、ACサーボドライブΣ-Xを使用した高速・高精度かつ柔軟なサーボ主体のウエハ搬送システムをご提案します。
また、高精度なデータ解析と上位コントローラの負荷軽減を実現するΣ-X用途最適形をはじめ、豊富な製品ラインアップで、半導体製造全体を支えるソリューションをご紹介いたします。
■会期：2023年12月13日(水)～12月15日(金) 10:00～17:00
■会場：東京ビッグサイト 東4ホール
■安川電機ブース：東5ホール 4634
●最新のウエハ搬送用ロボットSEMISTAR-GEKKOによる低振動搬送
●お客さまの装置プロセスに応じた柔軟な搬送レイアウトが可能に
※パートナー協業
●最新のΣ-Xシリーズより、用途最適形FT仕様をご紹介 
入場料 : 無料(事前登録制)
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